El primer escáner de China con capacidad de 28 nm se entregará a finales de 2023


Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE), el fabricante de escáneres de litografía más exitoso de China, reiteró sus planes esta semana de entregar su primer escáner capaz de producir chips en un proceso de fabricación de clase 28 nm para fin de año, informa TechWire Asia, citando al periódico Diario de valoresque a su vez cita una fuente anónima.

Para SMEE, su escáner SSA/800-10W es un gran avance ya que el escáner más avanzado que tiene la empresa en la actualidad solo es capaz de realizar procesos de fabricación de 90 nm y más gruesos. Con el tiempo, una herramienta de litografía con capacidad de 28 nm permitirá a los fabricantes de chips chinos confiar en equipos de litografía nacionales para una variedad de tecnologías maduras.

La medida es parte del objetivo más amplio de China de lograr la autosuficiencia en semiconductores y reducir su dependencia de la tecnología extranjera. Pero la pregunta sigue siendo si SMEE puede producir este escáner en cantidades masivas y cuándo podrá ponerlos a disposición para sustituir las máquinas de ASML, Canon y Nikon.

Las últimas regulaciones de exportación del gobierno de EE. UU. impiden que los fabricantes de chips chinos accedan a herramientas y tecnologías esenciales para crear chips lógicos de transistores no planos con dimensiones de 14 nm/16 nm, chips 3D NAND con más de 127 capas activas y circuitos integrados DRAM con un paso medio más pequeño que 18 nm. Las restricciones de los Países Bajos, Japón y Taiwán que entraron en vigor a principios de este otoño aislaron aún más a empresas chinas como SMIC y YMTC de las herramientas avanzadas. Estas limitaciones impiden su capacidad para producir chips utilizando sus procesos de fabricación más nuevos, en particular los de 14 nm/12 nm de SMIC y los de 7 nm de segunda generación, así como el 3D NAND de 128 y 232 capas de YMTC.

Como resultado, China necesita herramientas de litografía internas avanzadas para garantizar que sus fabricantes de chips puedan producir chips incluso con tecnologías de proceso bastante avanzadas, como 14 nm. Por ahora, parece que Shanghai Micro Electronics Equipment está en camino de revelar su escáner SSA/800-10W con capacidad de 28 nm, que enviará a SMIC o a un instituto de investigación de chips.

Después de hacer esto, al fabricante de chips todavía le llevará algún tiempo integrar el nuevo escáner en su flujo de producción. Sin embargo, sólo lo hará si las PYME pueden producir un número suficiente de dichas herramientas.



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