ASML está considerando el lanzamiento de una versión especial de su herramienta de litografía ultravioleta profunda (DUV) que cumplirá con las últimas normas de exportación de EE. UU. y que podría enviarse a clientes chinos sin licencia, informa DigiTimes. El dispositivo permitiría a empresas como SMIC y Hua Hong fabricar chips en nodos de clase 28nm y más gruesos, pero no les permitirá utilizar nodos más avanzados.
La herramienta de litografía en cuestión es Twinscan NXT:1980Di, y actualmente este es el escáner de inmersión menos avanzado que TSMC todavía fabrica. La máquina tiene una óptica de apertura numérica de 1,35 y es capaz de una resolución de <38 nm, que es suficiente para la clase de 7 nm e incluso nodos más avanzados. De hecho, este escáner, lanzado originalmente en 2016, fue utilizado por TSMC para desarrollar su tecnología de proceso de clase 7nm.
Reducir este dispositivo y aumentar su resolución mínima admitida para evitar que SMIC y otros fabricantes de chips chinos creen tecnología de proceso de menos de 28 nm es teóricamente posible. Teniendo en cuenta que la mayor parte de los ingresos de SMIC proviene de los nodos de producción que tienen un grosor superior a 28 nm, es probable que las empresas chinas sigan interesadas en adquirir tales herramientas.
Las últimas regulaciones de exportación exigen que las empresas y los individuos estadounidenses obtengan licencias para exportar herramientas y tecnologías capaces de fabricar chips lógicos con transistores no planos en nodos de 14nm/16nm e inferiores, 3D NAND con 128 capas o más y chips de memoria DRAM de 18nm la mitad -paso o menos. Las mismas reglas se aplican a las empresas no estadounidenses que exportan componentes de EE. UU., como es el caso de ASML y Twinscan NXT:1980Di.
Las últimas normas de exportación holandesas exigen que ASML obtenga una licencia de exportación para vender sus escáneres Twinscan NXT:2000i a empresas chinas. ASML no ha creado oficialmente una versión limitada de Twinscan NXT, pero si las regulaciones de exportación continúan restringiendo las ventas de tecnologías avanzadas a China, tal movimiento parece probable.